聚焦离子束双束扫描电镜">
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仪器名称 |
聚焦离子束双束扫描电镜 |
型号 |
Helios 5 CX |
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仪器编号 |
GD202500948 |
仪器来源 |
购置 |
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生产厂商 |
ThermoFisher Scientific |
启用日期 |
2024.07.01 |
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所在部门 |
润滑材料全国重点实验室 |
仪器原值 |
659.8万 |
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仪器负责人 |
张正锋 |
联系电话 |
18793148887 |
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放置地点 |
304院东楼103 |
邮箱 |
zhangzhengfeng@licp.cas.cn |
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主要技术指标 |
聚焦离子束-扫描电子显微镜(FIB-SEM)双束系统,集成高分辨场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)与高精度聚焦离子束(FIB),具备纳米尺度精细加工、原位剖面分析和高分辨成像等多种功能,广泛应用于材料科学、电子器件、地质、生物等领域的微纳结构制备与分析。 | ||
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包含主要附件 |
牛津仪器EDS | ||
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仪器主要功能 |
透射电镜薄片样品制备/微区加工/材料形貌观察/元素分析 | ||
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仪器服务领域 |
物理/化学/材料 | ||
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所外测试收费标准 |
1200元/小时 | ||
