聚焦离子束双束扫描电镜">
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材料公共技术部
聚焦离子束双束扫描电镜
2026-03-23     【 【打印此页】【关闭】


仪器名称

聚焦离子束双束扫描电镜

型号

Helios 5 CX

仪器编号

GD202500948

仪器来源

购置

生产厂商

ThermoFisher Scientific

启用日期

2024.07.01

所在部门

润滑材料全国重点实验室

仪器原值

659.8

仪器负责人

张正锋

联系电话

18793148887

放置地点

304院东楼103

邮箱

zhangzhengfeng@licp.cas.cn

主要技术指标

聚焦离子束-扫描电子显微镜(FIB-SEM)双束系统,集成高分辨场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)与高精度聚焦离子束(FIB),具备纳米尺度精细加工、原位剖面分析和高分辨成像等多种功能,广泛应用于材料科学、电子器件、地质、生物等领域的微纳结构制备与分析。

包含主要附件

牛津仪器EDS

仪器主要功能

透射电镜薄片样品制备/微区加工/材料形貌观察/元素分析

仪器服务领域

物理/化学/材料

所外测试收费标准

1200/小时

     



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