仪器编号

0101009916475

仪器来源

购置

生产厂商

美国KLA-Tencor

启用日期

20160929

所在部门

润滑材料全国重点实验室

仪器原值

850000

仪器负责人

曲文俊

联系电话

0931-4968165

放置地点

理化楼A202

邮箱

847014008@qq.com

主要技术指标

垂直方向分辨率0.1nm，XY自动样品台移动范围152×152mm，Z自动样品台移动范围127mm

包含主要附件

干涉显微镜头：2.5倍，5倍，10倍，50倍

仪器主要功能

用于分析材料表面的形貌特征、粗糙度及磨损体积

仪器服务领域

精密制造、电子半导体、汽车航天、医疗生物、科研检测

所外测试收费标准

400元/小时